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非標陶瓷件都包括哪些,各有什么作用

發(fā)布時間：2020-09-08

陶瓷棒：
因各個客戶機臺使用上的不同，因此會延伸出多種不同外觀大小的陶瓷棒。這個部分皆可根據各戶的需求進行生產。

陶瓷螺絲
半導體以及光電業(yè)機臺設備因會需使用酸堿性較高的腐蝕性化學藥劑，機臺內使用之螺絲也需要考慮到是否可以抗酸堿腐蝕，故許多機臺內的螺絲都采用陶瓷螺絲。

聚焦環(huán)
主要用在半導體以及光電業(yè)蝕刻機臺設備，所以機臺亦長期與化學藥劑接觸，故此零件大部分廠商會使用陶瓷或是石英，石英部分較陶瓷不耐碰撞，石英碰撞后容易造成表免剝落狀態(tài)，上機會造成問題。故目前所知采用陶瓷的廠商已經越來越多。

注入器
在半導體機臺設備中扮演著化學氣體輸出入的角色，因為他長時間都需接觸化學氣體，故他須要有耐酸堿耐腐蝕的功能，以免因為他的腐蝕造成機臺設備的損傷。工程陶瓷零件的耐腐蝕抗酸堿剛好適合使用。

上下保護環(huán)
陶瓷本身無磁性之功能正好符合半導體機臺內保護環(huán)防止雜訊干擾使用，因機臺所需的尺寸大小不同，尺寸部分也會因此不同。這個部分皆可根據各戶的需求進行生產。

機械手臂
因半導體機臺設備內常使用化學藥劑，機臺設備所生產之產品又須要可以轉送下一站別，故有了機械手臂這項產品。為了避免機臺內的化學藥劑對機械手臂產生化學反應，許多廠商已經開始改用陶瓷所生產的機械手臂。

鐘罩
會用在反應器系統(tǒng)內，且電漿或是化學氣體有時會在此停留，故在鐘罩的材質使用上需特別注意耐酸堿耐腐蝕，因此目前有許多半導體設備上所使用之鐘罩采用陶瓷材質，鐘罩之外表也可以配合另外覆蓋其他金屬材質。或本司金屬鐘罩可做陶瓷表面處理。

壓緊環(huán)
用于光電業(yè)前段制程機臺設備中，長期會接觸化學藥劑，陶瓷材質可避免長期接觸化學藥劑產生腐蝕的現(xiàn)象。

陶瓷長板/邊條/檔板/蓋板
多用于LCD蝕刻機臺設備，機臺需長期與化學藥劑接觸，中間孔洞部分是需鎖螺絲，所以它的材質多數(shù)須考量可耐酸堿，抗腐蝕，故目前大多數(shù)都采用陶瓷材質。因應機臺的需求會產生很多不一樣型式，故我們樣式的陶瓷陶瓷長板/邊條/檔板/蓋板。提供客戶客制化的服務，可配合生產各式陶瓷或金屬長板陶瓷表面處理。

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